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ビジョン
SiC,GaNなどのパワー半導体では,従来のパワーエレクトロニクス回路で求められる動作点と異なり,高温での駆動が可能となります.このことにより,従来の半田による接合ではなくダイアタッチによる加熱接合が進められています.一方,ダイアタッチのナノ粒子は,低温度でも自発的に凝縮・結合するため,分散剤を素早く脱離させる必要があります.これまでの大気圧プラズマを用いたナノ粒子の合成技術などを用いて,反応場を制御しながら,加熱フリーな電気接合方法の開拓を行います.
最終用途例
APPLICATION
大気圧プラズマを用いて導電性接着剤を処理すると,ウェアラブルエレクトロニクスの電気接点,ダイアタッチの低温処理が期待できます.これにより,非加熱処理により処理装置の低エネルギー化,低コスト化が期待できます.
APPLICATION
ナノ粒子の表面修飾には複数のステップを経由して所望の機能を得ますが,熱プロセスではない過程を経ることで,従来にはない経路の反応場を作ることができます.気液界面プラズマと液体の条件を制御することで簡単なプロセスで,ナノ粒子の表面を修飾することができます.
APPLICATION
機能を付与したいが加熱処理が難しい対象に対して,大気圧プラズマと所望の化合物を配合することで,短時間,大面積の対象にさまざまな機能を付与できます.これにより,非加熱処理により処理装置の低エネルギー化,低コスト化が期待できます.
強み
テクノロジー
これまでに加熱処理の必要となるコーティング剤に対して,大気圧プラズマを適用することで表面の機能付与を実現しました.同様の考え方で導電性接着剤に対しても電気的な接着,接合をすることで従来よりも小型,簡便なシステムを実現することが期待できます.
所有する大気圧プラズマ用電源は,高出力であり大規模化に向けた検討が可能です.また,波形制御パルスパワー電源などにより,大気圧プラズマ発生時のラジカル量などの制御も可能です.これにより小型,簡便なシステムの設計開発も可能です.
共同研究仮説
大気圧プラズマは熱プロセスによらない,反応場を構築することができます.導電性接着剤の接合だけではなく,有機物の化学反応の促進の場としても利用することが可能です.まずは,意見交換からぜひお声がけください.
イベント動画
研究者
2008年4月-2009年3月 日本大学 理工学部 物理学科 助手
2009年4月-2012年8月 長岡技術科学大学 電気系 助教
2012年9月-2015年3月 長岡技術科学大学 電気系 准教授
2015年4月-2021年3月 長岡技術科学大学 技学研究院 電気電子情報工学専攻 准教授(改組に伴う配置換)
2022年4月-現在 長岡技術科学大学 技学研究院 技術科学イノベーション系 准教授(改組に伴う配置換)
[研究室HP] https://www.mhdlab.jp